中文名:光学数码显微镜
英文名:3DMicroscope-Olympus
所属机组:封测组
仪器型号:DSX510
房间:二楼失效分析
负责人:李伟

品牌型号Olympus,DSX510
主要功能
光学数码变焦
技术指标
光学成像: 光学变焦0.26x-3.5x.专用10x物镜,可调节综合放大倍数(139x-1803x),明暗场辅助物镜,可调节综合放大倍数(34x-451x)。
光学成像电动载物台: 行程范(X/Y/Z):100×100×95mm
重复精度±1μm
可实现微分干涉和偏光显微镜拍摄