品牌型号： 探针台 仪准科技 PW-800
半导体参数测试仪 keithley 4200-scs
数字源表 2410，2636，2651，6221，2182
主要功能：
探针测试系统利用探针接触样品进行电流-电压（I-V)、电容-电压 (C-V) 和超快脉冲 I-V 电学测试。主要用于材料研究、半导体器件设计、工艺开发或生产的复杂器件的测试。
技术指标：
4个探针座，X-Y-Z行程12mm×12mm×12mm;
8inch载盘;
目镜10x，物镜2X,5X,10X,20X;
探针曲率半径： 1μm，5μm，10μm，钨探针；
4个中功率SMU： 100mA，200V,2W；
4个fA： 最小分辨率0.1fA；
1个CV模块： 1KHz-10MHz；±30V；
1个PMU模块： 最小脉宽10ns；
2410： 单通道，1A，1100V，20W，1pA/100nV；
2636： 双通道，200V，10A，200W，0.1fA/100nV；
2651： 单通道， 50A（pulse），40V，2000W，100fA/100nV；
6221/2182： 1nV-100V，电阻10nΩ-100MΩ，DC源±10fA-100mA，AC 4pAp-P200mAp-p