主要功能：
利用电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的显微切割仪器。
技术指标：
电子枪分辨率： 0.8nm@15kV
　　　　　　　0.9nm@1kV
离子枪加速电压： 500V-30kV
电子枪加速电压： 200V-30kV
样品台： XY：150 mm，piezo-driven
　　　　Z：10mm motorized
　　　　T：-10°to +60°
　　　　R：n×360°，piezo-driven