品牌型号： ZEISS, Orion Nanofab
主要功能：
Orion NanoFab将氦、氖以及镓离子3束离子束集成在一台设备上，以实现从um到nm的高分辨成像和纳米加工。
原理：将液氮冷却的单晶钨丝针尖放置在氦气氛围内，在钨丝上施加高压，使尖端3个钨原子上所吸附的氦原子电离，形成3个不同方向的离子束流，选择其中一束离子束流，进行加速、聚焦，用于扫描样品，也可实现对样品的刻蚀。主要用于高分辨成像和各种微纳米结构的加工。
技术指标：
氦离子束： Resolution: 0.5nm
Beam energy: 10-30kV
氖离子束： Resolution: 1.9nm
Beam energy: 10-25kV
镓离子束： Resolution: 3nm
Beam energy: 1-30kV