中文名:离子束减薄仪
英文名:Ion Beam Sampling
所属机组:封测组
仪器型号:EM TIC3X
房间:地下洁净间
负责人:李伟


品牌型号Leica,EM TIC3X
主要功能
主要用于电镜观测样品的制备,可进行平面和截面抛光,适用于金属、半导体、聚合物等材料。
技术指标
离子束加速电压: 1-10keV
样品温度: -150℃~25℃;
样品尺寸: 25mm×25mm×5mm
最大抛光面积: 25mm