主要功能：

测量台阶高度和样品表面形貌。

技术指标：

扫描长度：50μm-55mm，拼接可达200mm

垂直测量范围：＜1mm

探针曲率半径：0.7μm，2μm，12.5μm

探针压力：1-15mg重性：5Å@1μm标样