主要功能：

微纳米结构器件加工过程中的表面的高度方向形貌定量表征。

技术指标：

1、物镜涵盖10倍至100倍；

2、扫描台XY移动范围涵盖100*75mm； 

3、垂直Z向扫描范围不小于40毫米；

4、垂直Z向最高分辨率2nm；

5、横向最高分辨率0.14微米；